近日,据媒体报道 , 国内最早进的蚀刻巨头,中微半导体成功自研出了3nm蚀刻机!各项性能指标均已通过权威机构的检测,所有技术都是100%国产,更重要的是,这项创新装备已经开始量产 。
如果把光刻机比喻为芯片制造的“魂”,那么蚀刻机就是“魄”,这两项装备在芯片制造产业中的重要性旗鼓相当 。
【国产巨头突破3纳米】

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“光刻”是指利用紫外线光源技术对设计好线路图的晶圆进行刻画 。
“刻蚀”则是在光刻以后,用化学腐蚀液将硅片上过剩的部分“去除”,从而让晶圆变成半导体器件 。
截至目前 , 中微半导体是全球唯逐一家都能生产3nm精度蚀刻机的企业 。以“一代芯片 , 一代装备”来看,国产3nm蚀刻机毫无疑问将成功进入最早进3nm芯片制造的装备供应链 。
全球最大的两家代工企业,台积电和三星均已向中微半导体下单 。
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